根據(jù)被動(dòng)閥微泵的工作原理,提出了一種基于MEMS技術(shù)具 有V型微閥的新型微驅(qū)動(dòng)器,對(duì)微驅(qū)動(dòng)器結(jié)構(gòu)中的PZT復(fù)合薄板、微閥 的制作、特性進(jìn)行了工藝模擬,設(shè)計(jì)了相關(guān)制作工藝及版圖尺寸,并實(shí)現(xiàn) 了微驅(qū)動(dòng)器。通過(guò)理論分析給出方形PZT復(fù)合薄板的驅(qū)動(dòng)電壓與撓度、 復(fù)合薄板的厚度與撓度,復(fù)合薄板厚度與固有頻率的關(guān)系,為方形硅杯結(jié) 構(gòu)微系統(tǒng)器件的理論與實(shí)驗(yàn)的進(jìn)一步比較分析提供了參考依據(jù)。在研制過(guò) 程中發(fā)現(xiàn)V型微閥設(shè)計(jì)制作的關(guān)鍵因素是硅各向異性腐蝕技術(shù)與設(shè)計(jì)尺 寸的關(guān)系,并給出了新型V閥微驅(qū)動(dòng)器的流量、背壓等測(cè)試方法。結(jié)果證 明采用MEMS技術(shù)研制的新型V閥微驅(qū)動(dòng)器的工藝方案可行,工藝簡(jiǎn)單、 成本低、體積小,尤其適用于生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域。

    磁力驅(qū)動(dòng)泵是將永磁聯(lián)軸器的工作原理應(yīng)用于離心泵的新產(chǎn)品，主要材料有不銹鋼、增強(qiáng)聚丙稀，工程塑料。設(shè)計(jì)合理、工藝，具有全密封、無(wú)泄漏、耐腐蝕的特點(diǎn)，其性能達(dá)到國(guó)外同類產(chǎn)品的水平。

    主要推薦產(chǎn)品不銹鋼磁力泵,高溫磁力泵,耐腐蝕磁力泵,自吸磁力泵,耐腐蝕液下泵 http:///